芯明天放大机构式压电扫描台 N12压电扫描台为1~3维并联式平移扫描台，台体中心方形通孔，内部采用无摩擦的柔性铰链导向机构，采用有限元仿真分析优 化结构，具有超高的导向精度、高刚性、大负载、无磨损等特点，平台内可选择配置高性能传感器进行全闭环反馈，实现满行程0.04%的 重复定位精度。
芯明天放大机构式压电扫描台N12压电扫描台特性
• 大位移110μm
• 大承载0.7kg
• 台体中心方形通孔
• 闭环重复定位精度高 • 开环闭环可选
1~3维扫描台
N12系列压电扫描台包含X、Z、XY、XZ、XYZ五种规格型号。
闭环传感定位精度高
N12系列压电扫描台配置高分辨率传感器，对位置实时检测 并反馈到压电控制器，控制器通过PID算法调整电压修正位移，从 而实现高精度定位。
N12.XYZ压电扫描台配套芯明天E72系列模块化控制器应用 于光学显微成像，实现XYZ轴精密扫描。
小体积、大位移、中心通孔
N12系列纳米定位台体积非常小巧，位移可达110μm。 *的平行运动学设计原理，使得平台可以实现XYZ轴高速 精密运动。这款产品的应用非常广泛，从光学研究到工业化 OEM系统等。
该系列压电扫描台的通光孔为45×45mm。高刚度以及 优异的直线性使其成为光学、激光领域纳米级精密定位应用。
N12压电扫描台典型应用
扫描显微
• 共焦显微
• 晶圆定位
• 表面测量
• 图像处理与稳定
• 半导体测试
N12压电扫描台技术参数：
|
型号 |
尾缀S-闭环 尾缀K-开环 |
N12.X100S N12.X100K |
N12.Z100S N12.Z100K |
N12.XY100S N12.XY100K |
N12.XZ100S N12.XZ100K |
N12.XYZ100S N12.XYZ100K |
单位 |
|
运动自由度 |
X |
Z |
X、Y |
X、Z |
X、Y、Z |
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|
|
标称行程范围（0~120V） |
80 |
80 |
80/轴 |
80/轴 |
80/轴 |
μm±20% |
|
|
大行程范围（-20~150V） |
110 |
110 |
110/轴 |
110/轴 |
110/轴 |
μm±20% |
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|
传感器类型 |
SGS/- |
SGS/- |
SGS/- |
SGS/- |
SGS/- |
|
|
|
通孔尺寸 |
45×45 |
45×45 |
45×45 |
45×45 |
45×45 |
mm |
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|
闭/开环分辨率 |
7/4 |
7/4 |
7/4 |
7/4 |
7/4 |
nm |
|
|
闭环线性度 |
0.1/- |
0.1/- |
0.1/- |
0.1/- |
0.15/- |
%F.S. |
|
|
闭环重复定位精度 |
0.04/- |
0.04/- |
0.05/- |
0.05/- |
0.1/- |
%F.S. |
|
|
俯仰/偏航/滚动 |
<10 |
<10 |
<15 |
<15 |
<20 |
µrad |
|
|
推/拉力 |
30/10 |
30/10 |
25/8 |
25/8 |
20/4 |
N |
|
|
运动方向刚度 |
0.3 |
0.3 |
X0.25/Y0.3 |
X0.3/Z0.25 |
X0.3/Y0.25/Z0.2 |
N/μm±20% |
|
|
空载谐振频率 |
230 |
200 |
X170/Y200 |
X200/Z150 |
X200/Y150/Z120 |
Hz±20% |
|
|
闭/开环空载阶跃时间 |
10/0.8 |
10/0.8 |
15/0.8 |
15/0.8 |
30/0.8 |
ms±20% |
|
|
闭环空载 工作频率 |
10%行程 |
60 |
65 |
55 |
50 |
30 |
Hz±20% |
|
行程 |
8 |
8 |
7 |
6 |
4 |
||
|
大承载 |
0.7 |
0.7 |
0.7 |
0.7 |
0.5 |
kg |
|
|
静电容量 |
1.8 |
1.8 |
1.8/轴 |
1.8/轴 |
1.8/轴 |
μF±20% |
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|
材质 |
钢、铝 |
钢、铝 |
钢、铝 |
钢、铝 |
钢、铝 |
|
|
|
重量 |
240 |
240 |
290 |
290 |
350 |
g±5% |
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以上参数是采用E00系列压电控制器测得。
http://www.coremorrow.cn/Products-11716314.html
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